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扫描电镜SEM＆能谱分析EDS

电镜分析.jpg

扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。SEM一般都与EDS组合，利用EDS进行元素成分定性、定量分析；可应用于材料高分辨成像、电子产品如PCB板/FPC、半导体，光电材料、通讯行业材料形貌/腐蚀/微污染分析，微区元素打点分析/特定元素沿深度方向的线扫描，元素的面分布。

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SEM/EDS应用范围

扫描电子显微镜在金属材料领域的应用

（1）金属材料断裂失效分析。对断口微观形貌观察，根据脆性断裂及韧性断裂机理，结合材料受力状态分析，找出失效根源。
（2）金属材料的表面缺陷分析。利用扫描电子显微镜对金属表面或界面的薄层进行组分、结构和能态等分析，揭示金属材料及其制品的表面形貌、成分、结构或状态。
（3）金属材料的微区化学成分分析。分析表面形貌及微区成分，为失效机理推断提供定性定量依据。

扫描电子显微镜在非金属材料领域的应用

(1) 材料的表面形貌观察
(2) 涂镀层表面形貌分析与镀层厚度测量
(3) 材料的微区化学成分分析
(4) 扫描电子显微镜分辨率可达纳米级别，可对纳米材料进行观察

重点分析样品

金属材料、高分子材料、电子元器件、PCBA/PCB 等

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仪器设备介绍

仪器名称：Oxford Ultim Max 硅漂移型探测器

速度
低噪音电子元器件和X4脉冲处理器的结合，能够在1500OOOcps的计数率下对样品进行面分析，并在400OOOcps计数率下进行精确定量。
灵敏度
晶体尺寸40mm2,分析速度快，探测灵敏度高。
分辨率
分辨率高达127eV,可以进行点扫'线扫'面扫，区域扫。

仪器名称：Hitachi SU8010冷场发射扫描电子显微镜

加速电压
0.1kv~30kv,可以根据样品类型和观测要求选择不同加速电压。
灵敏度
晶体尺寸40mm2,分析速度快，探测灵敏度高。

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扫描电镜（SEM）＆能谱分析（EDS）标准（部分）

实验室常规测试标准

★ JY/T 0584-2020 表面微观形貌观察

★ GB/T 17359-2012 微区成分分析、异物分析

★ GB/T 16594-2008 涂镀层厚度测量

★ GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

★ ISO 22309-2011 微束分析——使用能量色散光谱法（EDS）对原子序数为11（Na）或以上的元素进行定量分析

★ GB/T 15244-2013 微束分析硅酸盐玻璃的定量分析波谱法及能谱法

★ GB/T 28634-2012 微束分析电子探针显微分析块状试样波谱法定量点分析

★ ISO 22489-2016 微束分析 - 电子探针微量分析 - 使用波长色散X射线光谱法的批量样品的定量点分析

★ GB/T 20726-2015 微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

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